NEX系列旋片式真空泵以“高穩(wěn)定性、強環(huán)境適應、智能化控制"為核心，重新定義中低真空設備的性能，是追求高效、可靠、環(huán)保的工業(yè)用戶的理想選擇。本系列真空泵雙級旋片式真空泵既然可獨立運行，滿足各類基礎真空需求；也能與增壓泵、擴散泵、分子泵等超高真空泵串聯(lián)，作為前級泵協(xié)同作業(yè)。在電子器件制造中，保障芯片封裝、鍍膜等精密工藝的真空環(huán)境；于真空干燥領域，加速物料膠水進程；在過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉等

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更新時間：2025-11-19

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旋片式真空泵

單級旋片式真空泵雙級旋片式真空泵

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產品介紹

用途概述

NEX系列旋片式真空泵以“高穩(wěn)定性、強環(huán)境適應、智能化控制"為核心，重新定義中低真空設備的性能，是追求高效、可靠、環(huán)保的工業(yè)用戶的理想選擇。本系列真空泵雙級旋片式真空泵既然可獨立運行，滿足各類基礎真空需求；也能與增壓泵、擴散泵、分子泵等超高真空泵串聯(lián)，作為前級泵協(xié)同作業(yè)。在電子器件制造中，保障芯片封裝、鍍膜等精密工藝的真空環(huán)境；于真空干燥領域，加速物料膠水進程；在過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉等工業(yè)流程，以及實驗室科研活動里，均發(fā)揮著的作用，為不同行業(yè)的生產與研究筑牢真空基礎。

產品特點

采用整體式缸體結構，制造精度達到行業(yè)水平，搭配經大量實踐驗證的旋片技術，運行平穩(wěn)無波動，賦予系統(tǒng)更高可靠性，保障長時間穩(wěn)定作業(yè)，為您的生產與研究保駕護航。

多檔氣鎮(zhèn)設計，可根據(jù)實際工況靈活調整，精準滿足不同真空度要求，高效處理水蒸氣，無論是潮濕氣體環(huán)境，還是對真空度有嚴苛標準的作業(yè)場景，都能輕松應對。

內置齒輪泵及恒壓供油機構，實現(xiàn)強制潤滑循環(huán)模式，即便在高進氣壓強下(≤10Torr），也能確保各部件得到充分潤滑，確保軸承與旋片始終處于最佳潤滑狀態(tài)，運行順暢無阻，保障設備穩(wěn)定可靠運行，大幅降低故障風險。

選用氟橡膠密封件，顯著提升設備抗腐蝕能力，從根源上解決傳統(tǒng)真空泵常見的漏油難題，確保真空環(huán)境純凈，減少設備損耗與維護頻率。

創(chuàng)新風冷式散熱系統(tǒng)，通過優(yōu)化風道設計與高效電機，無需外接水冷裝置即可快速導出運行熱量，減少系統(tǒng)安裝復雜度與維護成本，即便在高強度運行下，也能快速散熱，確保設備始終處于理想工作溫度，延長使用壽命,特別適合無水冷配套的車間或移動場景。

單級：在突發(fā)斷電、停機等緊急狀況下，該結構能迅速響應，有效杜絕返油現(xiàn) 象，避免因潤滑油逆流污染真空系統(tǒng)及工藝設備。無論是對實驗數(shù)據(jù)精度要求高的科研項目，還是對產品質量把控嚴格的工業(yè)生產，都能確保設備穩(wěn)定運行，減少因設備污染導致的維護成本與時間損耗。

雙級：雙重返油，零泄漏設計，停機瞬間自動關閉油路，配合氣鎮(zhèn)通道殘余氣體反沖，100%杜絕油蒸汽倒灌污染真空系統(tǒng)，隔絕泵油回流，可靠保護真空系統(tǒng)免受油污污染，維持系統(tǒng)潔凈，降低后續(xù)清潔成本與維護難度，保護后續(xù)精密設備（如電子束焊接腔、光學鍍膜機）。

高效油霧過濾系統(tǒng)

單級旋片式真空泵：內置高品質油霧過濾器，在保障真空性能的同時，可有效攔截并過濾油霧顆粒，并將排放到環(huán)境中的油霧含量降低，不僅維護了工作場所的清潔衛(wèi)生，更契合環(huán)保法規(guī)要求，助力企業(yè)實現(xiàn)綠色生產。

弱酸弱堿，從容應對(NEX-DF系列)

在化工、制藥、半導體等行業(yè)的生產場景中，經常會面臨含有輕度腐蝕氣體的復雜工況。這些環(huán)境中，酸性氣體（如氯氣、二氧化硫）、強氧化性氣體（如臭氧、過氧化氫蒸氣）以及高濕度水蒸氣的協(xié)同作用，會對普通真空泵的金屬部件、密封材料造成持續(xù)性侵蝕，導致設備頻繁故障、使用壽命大幅縮短。

針對此類工況，上海喆圖推出的NEX-F系列真空泵堪稱行業(yè)解決方案。該系列產品采用316L不銹鋼彈簧，其優(yōu)異的耐酸堿性與抗氯離子腐蝕性能，能在弱酸性環(huán)境中長期穩(wěn)定工作；搭配高純度氟橡膠密封圈，憑借的化學惰性與耐候性，可有效抵御強氧化性氣體侵蝕，杜絕氣體泄漏風險；創(chuàng)新設計的耐腐蝕泵體，表面經過特殊涂層處理，形成致密防護屏障，不僅耐受多種腐蝕性介質，還具備自清潔功能，減少雜質附著引發(fā)的局部腐蝕。值得注意的是，若您的使用環(huán)境存在王水、高濃度強腐蝕性介質，建議選擇喆圖干式無油螺桿真空泵，該產品采用全陶瓷涂層與特種工程塑料材質，能從容應對腐蝕環(huán)境

行業(yè)領域	典型應用場景
實驗室分析	旋轉蒸發(fā)、真空濃縮、離心濃縮等樣品前處理
實驗室分析	配套質譜、GC、HPLC 等分析儀器，提升檢測靈敏度與重復性
電子制造	芯片封裝、IC測試、半導體鍍膜、光學元件蒸鍍
電子制造	LED、TFT-LCD 面板制造中的真空干燥與脫氣
化工與制藥	原料藥、輔料真空干燥與濃縮
	反應釜抽真空、真空過濾、提純過程
	NEX-F 系列適用于處理弱酸、臭氧等腐蝕性氣體
材料與冶金	真空燒結、熱處理、真空焊接等高溫工藝
材料與冶金	絕緣材料、碳纖維、樹脂件的真空浸漬，提高致密度與性能一致性
食品與包裝	真空包裝、真空冷卻、干燥工藝輔助
食品與包裝	提高產品保鮮周期，適配移動生產線或非水冷車間
環(huán)保與新能源	電池材料真空干燥、電解液注液系統(tǒng)穩(wěn)定支持
環(huán)保與新能源	廢氣收集、揮發(fā)性氣體轉移等預處理環(huán)節(jié)，保障環(huán)境安全
科研探索	真空系統(tǒng)集成配套：與擴散泵、分子泵組成超高真空系統(tǒng)
科研探索	真空模擬試驗、航天材料脫氣、低壓物理實驗等基礎研究應用

技術參數(shù)

名稱	單級旋片式真空泵
型號	NEX-20	NEX-20K	NEX-40	NEX-63	NEX-100	NEX-200	NEX-300
抽速50Hz	20m3/h	20m3/h	40m3/h	63m3/h	100m3/h	200m3/h	300m3/h
抽速50Hz	（5.6L/s）	（5.6L/s）	（11.1L/s）	（17.5L/s）	（27.8L/s）	（55.6L/s）	（83.3L/s）
抽速60Hz	24m3/h	24m3/h	48m3/h	76m3/h	120m3/h	240m3/h	360m3/h
抽速60Hz	（6.7L/s）	（6.7L/s）	（13.3L/s）	（21.1L/s）	（33.3L/s）	（66.7L/s）	（100L/s）
極限真空	2mba		0.5mba			0.1mba
可選口徑	G3/4"或G1/2"		G1 -1/4"			G2"
電壓50Hz	220~275V/380~415V		200~240V/345~415V			345~415V
電壓60Hz	220~280V/380~440V		220~275V/380~480V			380~480V
電機功率	750W	900W	1500W	2000W	3000W	5500W	7500W
轉速50Hz	3000r/min		1440r/min			1455r/min
轉速60Hz	3600r/min		1720r/min			1720r/min
噪音50dB	68	68	63	64	65	69	72
油量L	0.45	0.45	1	2	2	6	8
重量kg	18.5	18.5	43	56	70	149	193
外形尺寸WDH(mm)	316243218	316243184	650150327	670150324	760170353	880225320	1040260350

名稱	雙級旋片真空泵
型號	NEX-D4	NEX-D8	NEX-D16	NEX-D24	NEX-D30	NEX-D48	NEX-D65	NEX-D90
抽速50Hz	4m3/h	8m3/h	16m3/h	24m3/h	30m3/h	48m3/h	65m3/h	90m3/h
抽速50Hz	1 .1L/s	2 .2L/s	4 .4L/s	6 .6L/s	8 . 3L/s	13 . 3L/s	18L/s	25L/s
抽速60Hz	4 .8m3/h	9 .6m3/h	19 .2m3/h	28 .8m3/h	36m3/h	57 .6m3/h	78m3/h	108m3/h
抽速60Hz	1 . 3L/s	2 .6L/s	5 .2L/s	7 .9L/s	9 .9L/s	16L/s	21 .6L/s	30L/s
極限分壓力	5×10-2Pa	5×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa
（關氣鎮(zhèn)）	5×10-2Pa	5×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa
極限全壓力	5×10-1Pa	5×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa
（關氣鎮(zhèn)）	5×10-1Pa	5×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa
極限全壓力	10Pa	10Pa	8Pa	8Pa	8Pa	10Pa	10Pa	10Pa
（開氣鎮(zhèn)）	10Pa	10Pa	8Pa	8Pa	8Pa	10Pa	10Pa	10Pa
電源	單相/三相	單相/三相	單相/三相	單相/三相	單相/三相	三相	三相	三相
電機功率kW	0.4/0.37	0.4/0.37	1.1	1.1	1.1	1.5	2.2	3
電機轉速r/min	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720
油量L	0.6~1.0	0.6~1.0	0.9~1.5	1.3~2.0	1.3~2.0	3.3~4.5	3.3~4.5	3.3~4.5
進/排接氣口	KF16/25	KF16/25	KF25/25	KF25/40	KF25/40	KF40/40	KF40/40	KF40/40
噪音50dB	≤52	≤52	≤58	≤58	≤58	≤62	≤62	≤65
防護等級	IP44	IP44	IP44	IP44	IP44	IP44	IP44	IP44
重量kg	19	21	30	35	43	62	65	68
外形尺寸WDH(mm)	440144217	440144217	530188272	530188272	567188272	730234358	730234358	730234358

名稱	微防腐雙級旋片式真空泵
型號	NEX-DF4	NEX-DF8	NEX-DF16	NEX-DF24	NEX-DF30	NEX-DF48	NEX-DF65	NEX-DF90
抽速50Hz	4m3/h	8m3/h	16m3/h	24m3/h	30m3/h	48m3/h	65m3/h	90m3 /h
抽速50Hz	1 .1L/s	2 .2L/s	4 .4L/s	6 .6L/s	8 . 3L/s	13 . 3L/s	18L/s	25L/s
抽速60Hz	4 .8m3/h	9 .6m3/h	19 .2m3/h	28 .8m3/h	36m3/h	57 .6m3/h	78m3/h	108m3/h
抽速60Hz	1 . 3L/s	2 .6L/s	5 .2L/s	7 .9L/s	9 .9L/s	16L/s	21 .6L/s	30L/s
極限分壓力（關氣鎮(zhèn)）	5×10-2Pa	5×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa	4×10-2Pa
極限全壓力（關氣鎮(zhèn)）	5×10-1Pa	5×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa	4×10-1Pa
極限全壓力（開氣鎮(zhèn)）	10Pa	10Pa	8Pa	8Pa	3Pa	3Pa	3Pa	3Pa
電源	單相/三相	單相/三相	單相/三相	單相/三相	單相/三相	三相	三相	三相
電機功率kW	0.4/0.37	0.4/0.37	0.75/0.55	1.1	1.1	1.5	2.2	3
電機轉速r/min	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720
油量L	0.6~1.0	0.6~1.0	0.9~1.5	1.3~2.0	1.3~2.0	3.3~4.5	3.3~4.5	3.3~4.5
進/排接氣口	KF16/25	KF16/25	KF25/25	KF25/40	KF25/40	KF40/40	KF40/40	KF40/40
噪音50dB	≤53	≤53	≤58	≤58	≤58	≤62	≤62	≤65
防護等級	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54
重量kg	19	21	30	35	43	62	65	68
外形尺寸WDH(mm)	440144217	440144217	530188272	530188272	567188272	730234358	730234358	730234358